Исследовательско-технологический центр коллективного пользования «Нанотехнологий и физической электроники»

Исследовательско-технологический центр коллективного пользования «Нанотехнологий и физической электроники» создан в 2003 году на базе факультета радиофизики и электроники и НИИ ПФП имени А.Н. Севченко при Белорусском государственном университете Министерства образования Республики Беларусь.

Адрес:
220064 г. Минск, ул. Курчатова, 7
тел. 212-48-33, 212-08-80, факс 278-04-17, email: komarov@bsu.by

Руководитель: доктор физико-математических наук, профессор, член-корреспондент НАН Беларуси Комаров Фадей Фадеевич

Главные направления исследований:

  • ионно-лучевое легирование материалов в диапазоне энергий 5÷2500 кэВ;
  • нанесение слоев металлов, полупроводников и диэлектриков толщиной от 1 нм до 10 мкм плазменными, ионно-плазменными, ионно-ассистируемыми, лазерными методам и методом лазерной фотохимии;
  • формирование наноструктурированных систем в полупроводниках, металлах и диэлектриках из пересыщенных твердых растворов созданных высокодозной ионной имплантацией и методами планарной технологии;
  • лазерная обработка оптически прозрачных материалов и пластмасс;
  • количественный неразрушающий анализ по глубине объекта с помощью обратного резерфордовского рассеяния ОРР и выхода характеристического рентгеновского излучения (PIXE);
  • неразрушающий анализ распределения дефектов структуры по глубине объекта методом ОРР с каналированием ионов;
  • определение местоположения дефектов и примесных атомов в элементарной ячейке кристалла;
  • измерение электрофизических и оптических характеристик твердотельных объектов;
  • измерение вольтамперных (I – V), вольтфарадных (C – V) характеристик и DLTS-спектрометрия полупроводниковых материалов, структур и приборов нано- и микроэлектроники;
  • трибомеханические испытания материалов (микротвердость, износ и коэффициент трения);
  • фазовый и структурный анализ материалов просвечивающей электронной микроскопией и cross-section электронной микроскопией.

Перечень основных методик измерений:

  • методики анализа структуры, типа дефектов и элементного состава по глубине объектов методом ОРР с каналированием ионов;
  • методика прецизионного элементного анализа по выходу вторичного рентгеновского излучения, возбуждаемого ионами (PIXE);
  • методики просвечивающей электронной микроскопии и электронной дифракции;
  • методика подготовки материалов для просвечивающей и cross-section электронной микроскопии;
  • методика cross-section электронной микроскопии;
  • методика контроля тонких и сверхтонких слоев материалов методом лазерной элипсометрии;
  • методики измерений электрофизических параметров материалов и приборных структур (I – V, C – V, холловские измерения);
  • методика нестационарной емкостной спектроскопии глубоких уровней (DLTS);
  • методики контроля оптических характеристик материалов и приборных структур (ИК-спектроскопия, рамановская спектроскопия);
  • методики контроля адгезии и трибомеханических свойств;
  • методика определения местоположения атомов в элементарной ячейке кристалла по каналированию ионов;
  • методика элементного анализа по глубине объектов методом OPP с электростатическим анализатором с разрешением по глубине 1 нм;
  • методика создания объемных изображений внутри прозрачных материалов.

Основное научное оборудование (характеристики)

  • Камера рентгеновская VHR-2 «Photonic Sciеnce»;
  • Микроскоп электронный ЭМ-125;
  • Ускоритель частиц АN–2500 HVE;
  • Ускоритель частиц ЭСУ-2;
  • Система препарирования образцов электронной микроскопии;
  • Просвечивающий электронный микроскоп Hitachi H-800;
  • Установка для быстрого термического отжига «JETFIRST 100»;
  • Измерительный спектроскопический комплекс RAMANOR U-1000;
  • Лазерная технологическая система 4001194 ELS-02М;
  • Лазер LS-2134D с системой контроля параметров излучения и программным управлением.
  • Аппаратно-программный комплекс для измерений электромагнитных излучений
  • Цифровой запоминающий осциллограф с технологией цифрового люминофора Tektronix DPO7254С
  • Анализатор электромагнитной совместимости с измерительной антенной и программным обеспечением